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超凈實驗室也稱超凈間,根據(jù)國人的語言表達習慣也稱為超凈房、超凈室。超凈實驗室顧名思義超凈實驗室是超級潔凈的潔凈室是能達到實驗室標準的潔凈室。
超凈實驗室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 超凈間最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造、檢測、科研,此空間我們稱之為超凈實驗室。
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